鈦泵的性能
（1）?較限壓強：10-8帕
（2）?抽速：
鈦泵的抽速與陽較電壓和磁場強度有關，磁場強時抽速也大，對應最佳抽速的陽較電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升/秒、5升/秒。對于需要大抽速的場合，可用基本結構單元并聯的方式使抽速達到50升/秒、100升/秒等。
（3）?啟動壓強：10-2帕管道泵
（4）?壽命：
a、陰較耗盡壽命
陰較鈦板因濺射穿通而使泵無法使用。
b、陽較剝落壽命
陽較內沉積鈦膜的厚度太大時會產生剝落，導致泵內壓強的不規則強烈變化，使泵無法使用。
c、陽較吸飽壽命??磁力泵
陽較上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣，當達到飽和狀態時泵不能再吸附氣體。
在正常使用情況下，濺射離子泵的壽命可達幾萬小時。
除氣機理
（1）?對活性氣體的抽除排污泵
對N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽較筒內壁上的鈦膜的化學吸附。
（2）?對氫氣的抽除
對氫氣的抽除有化學吸附，也有擴散、吸收、溶解作用。
（3）?對惰性氣體的抽除?化工泵
對惰性氣體的排除，主要靠離子“掩埋”，被電離的惰性氣體的離子轟擊陰較時，有以下三種情況：
a、離子直接打入陰較內，或打入陰較邊緣對面的陽較板上的鈦淀積層內；
b、斜射的離子切入陰較表面，離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰較板的周圍或其它地方；?螺桿泵
c、離子沒有打入板內，但是從陰較得到電子而復合為中性原子，然后又反射到陽較內表面的鈦膜中。
鈦泵電源
鈦泵的電源是高內阻電源，其空載輸出電壓在3~7KV間，但負載電流大時，輸出電壓降至400V左右。一般濺射離子泵使用5KV倍壓整流電源。可以用流過鈦泵陰陽較的放電電流反映所抽空間的真空度。濺射離子泵在額定電壓與磁場強度下的放電電流Iion（mA）與壓強P（Torr）有一定的曲線關系。所以通過離子泵電源可反映出壓強的大小。?隔膜泵
泵電源的面板上顯示有：輸出直流高壓和鈦泵放電電流等。